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负载对精密平台的性能影响
时间： 2021-07-07 11:39
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高精度高分辨率的精密平台在近代尖端工业生产和科学研究领域中占及其重要的地位。它是直接影响精度、超精度切割水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平的关键环节。微型机械、微型机器人领域是未来科技发展的重要方向。在航天航空、国防、医疗、以及广泛应用的民用工业领域都有广阔的前景。
平台在空载和负载的情况下：在前进、后退、转向时对平台的性能都有一定的影响。
1. 基座选用花岗石，花岗石基座下加隔振元件。
2.平台的横梁选用整体石材加工完成。保证横梁的高精度，横梁的正面、底面都保证了很高的定位精度
3.低速电机驱动元件（20nm的分辨率和无限行程）
4. 位置反馈元件（分辨率10nm,精度0.1UM）
为保证精度平台的机械精度，测量精度和系统稳定性，整个工作台在洁净车间内采取主动式隔震台作为减轻外界对平台的影响的手段。进一步减少环境的影响。
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高精度高分辨率的精密平台在近代尖端工业生产和科学研究领域中占及其重要的地位。它是直接影响精度、超精度切割水平、精密测量水平及超大规模集成电路生产水平的关键环节。微型机械、微型机器人领域是未来科技发展的重要方向。在航天航空、国防、医疗、以及广泛应用的民用工业领域都有广阔的前景。
平台在空载和负载的情况下：在前进、后退、转向时对平台的性能都有一定的影响。
1. 基座选用花岗石，花岗石基座下加隔振元件。
2.平台的横梁选用整体石材加工完成。保证横梁的高精度，横梁的正面、底面都保证了很高的定位精度
3.低速电机驱动元件（20nm的分辨率和无限行程）
4. 位置反馈元件（分辨率10nm,精度0.1UM）
为保证精度平台的机械精度，测量精度和系统稳定性，整个工作台在洁净车间内采取主动式隔震台作为减轻外界对平台的影响的手段。进一步减少环境的影响。
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